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玻璃精密零件微组装制造产线
Glass precision parts manufacturing line
设备
核心部件
核心软件
玻璃精密零件微组装制造产线
国内首条玻璃基精密腔体器件的微组装焊接制造产线,可实现从玻璃原材料开始到最终精密器件的全流程制造,解决了玻璃精密器件高精度、高密封性、高强度制造的技术难题,可用于原子器件、生物芯片、光学晶体腔室、精密传感器等器件的高效无污染清洁制造。
激光切割
切割工艺(表切、隐切、丝切、激光诱导化学切割)
激光切割
切割工艺(表切、隐切、丝切、激光诱导化学切割)
激光刻蚀/制孔
制孔工艺(激光TGV制孔、激光背面制孔) 刻蚀工艺(精密刻蚀、诱导刻蚀、掩膜刻蚀)
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精磨
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抛光
光学冷加工(光胶合、精密磨削、抛光)
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超快激光减材式3D打印
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清洗
清洗及烘干
清洗
清洗及烘干
超快激光微焊接
焊接(激光微焊接)
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